午后半导体行业ETF集体爆发，半导体ETF博时（159852 ）、半导体设备ETF招商（561980）、半导体设备ETF国泰（159516）等纷纷涨停，科创芯片ETF国泰（589100）、科创芯片ETF富国（588810）、科创芯片ETF博时（588990）等多只ETF涨超10%。